PI膠/BPO膠/BCB膠固化烘箱
產(chǎn)品品牌:HASUC
PI膠/BPO膠/BCB膠固化烤箱
一.概述:
普遍應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。
二、產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):
1.產(chǎn)品名稱及型號(hào):PI膠/BPO膠/BCB膠固化烤箱
2.電源及功率:AC380V 3φ 50Hz,6Kw
3.規(guī)格:工作尺寸:W600×H600×D600
外形尺寸:W950×H1510×D1340
4.無塵等級(jí):Class 100;
5.含氧量:40min達(dá)100ppm以下;(預(yù)留氧含量測試孔)
6.溫度范圍:常溫~ +350℃;(客戶工藝需要長期在300℃以上運(yùn)行)
7.溫度均勻度:±2%(空載)
8.升溫速度:>5℃/min ,升溫斜率可控,升溫速度可以通過加熱系統(tǒng)控制調(diào)節(jié)。
9.降溫:風(fēng)冷夾層降溫,200℃~ 120℃,3.5度/分鐘,120℃~ 65℃約1.5度/分鐘。
10.電磁鎖:啟動(dòng)設(shè)備運(yùn)行中,電磁門鎖鎖門,運(yùn)行未結(jié)束,人工不能開門。
三、箱體結(jié)構(gòu):
1.烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方。
2.全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵。
3.箱體材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵。
4.內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤產(chǎn)生PARTICLE。
5.中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密加工(防污染)。
6.保溫材料:超細(xì)玻璃棉;
7.電熱器:采用進(jìn)口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發(fā)生器。
8.潔凈度:烤箱內(nèi)部均采用無塵化配件及材料。
四、工作室的氣流設(shè)計(jì):
1.采用特殊設(shè)計(jì),滿足內(nèi)腔Class 100潔凈標(biāo)準(zhǔn);
2.排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門),以達(dá)到強(qiáng)烈循環(huán)效果而降溫,排風(fēng)加冷阱。
3.進(jìn)氣口:加附N2流量計(jì)控制進(jìn)氣量。入氣口:10mm
4.壓縮氣體過濾器,可把氣體過濾到CLASS 100,凈化氣體流量:300L/分鐘。
五、可靠的測控系統(tǒng)
溫控裝置:智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控(可聯(lián)網(wǎng),對(duì)接MES及SECSGEM) 10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯:可預(yù)編120個(gè)程式,每個(gè)程式可編99段,共1200段;歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出) ;三點(diǎn)溫度記錄;溫度測量:采用特制鍇裝鉑電阻
六、完善的安全保護(hù)措施:
漏電斷路器//控制線路保險(xiǎn)絲裝置//超溫防止保護(hù)裝置//欠相保護(hù)//電熱器過電流保護(hù)裝置//馬達(dá)電流過載保護(hù)//機(jī)臺(tái)異常時(shí)蜂鳴器警示//門安全開關(guān)//三色指示燈
參考圖: